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如何實時監(jiān)測半導(dǎo)體工藝中的安瓿是否耗盡與泄漏？

　　在半導(dǎo)體制造中，工藝的精確性與一致性至關(guān)重要。化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等先進的沉積技術(shù)依賴安瓿來儲存和輸送前驅(qū)體，以形成厚度精確、性能一致的薄膜。若安瓿在工藝過程中耗盡而未及時被發(fā)現(xiàn)，將導(dǎo)致薄膜不均勻、缺陷增多甚至器件失效，嚴(yán)重影響整批晶圓的質(zhì)量。此類故障不僅會降低良率，還會…
選對晶體，事半功倍！下載INFICON指南，掌握石英監(jiān)測晶體的選型秘訣

　　在基于石英晶體的測量系統(tǒng)中，監(jiān)測晶體的選擇直接決定了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。尤其在嚴(yán)苛的工藝環(huán)境下，為您的應(yīng)用選擇適合的 INFICON 晶體至關(guān)重要。　　以太陽能電池制造為例，大面積鍍膜常采用濺射工藝，并通過 QCM （石英晶體微量天平）實時監(jiān)測膜厚以確保均勻性。但挑戰(zhàn)在于：濺射過程產(chǎn)生的大…
【聚焦光伏行業(yè)應(yīng)用系列四】RGA：太陽能制造的隱形質(zhì)控守護者

　　在光伏產(chǎn)業(yè)向高效化、智能化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵期，INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先者，正以多元化產(chǎn)品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產(chǎn)突破到真空環(huán)境精密控制，從薄膜沉積技術(shù)到全流程協(xié)同優(yōu)化，我們將通過系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產(chǎn)品與技術(shù)在太陽能制造中的深度…